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Temperature Control System for Plasma Etching

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Temperature Control System for Plasma Etching

 

In semiconductor production, plasma etching is the core part of the process chain, including dry etching and wet etching. In dry etching, semiconductor plates (wafers) are plasma treated in a vacuum etching chamber. Ions in the plasma bombard the wafer, causing the material to break away. For example, the oxide layer on a silicon wafer can be removed in this way and then coated with a doped layer (which has foreign atoms added and therefore has some conductivity).

The temperature of the plasma affects the speed and efficiency of etching. If the temperature is too low, the plasma is not active enough to ablate material effectively. If the temperature is too high, the material may be over-ablated, causing errors and damage. Therefore, in semiconductor production, the most precise control of the plasma temperature is very important because the wafers are processed in the range between micrometers and nanometers. Even small changes in temperature can cause significant changes in the size and shape of etched structures. Wuxi Guanya can provide specialized temperature control solutions for the sensitive process of dry etching.

 


 

We provide complete temperature control systems design and manufacturing. From standard models to complete customized products. We specialize in customer service and are dedicated to helping each customer have the optimal temperature control system for their specific need.

Wir bieten maßgeschneiderte Lösungen, die nicht dem Standard entsprechen. Es sind sowohl einzelne Kühlaggregate als auch kombinierte Kühl- und Heizaggregate erhältlich.

Anfrage

E-Mail: lilia@lneya.com    WeChat ID: +8615251628237    WhatsApp: +86 17851209193

 

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Halbleiter-Kühlgerät

TES-Reihe (Benutzerdefinierte Designs)

Geeignet für die präzise Temperaturkontrolle von elektronischen Bauteilen. Bei der Herstellung von elektronischen Halbleiterkomponenten für raue Umgebungen umfassen die Phasen der IC-Gehäusemontage sowie der Entwicklungs- und Produktionstests auch elektronische Wärmetests und andere Simulationen von Umwelttests.

 

Temperaturbereich Serie -45°C ~ +250°C Serie -85°C ~ +200°C Serie -60°C ~ +200°C
Kühlleistung0,3 ~ 25kW0,25 ~ 25kW3 ~ 60kW
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden

 


 

 

LTS-Serie (fluorierte Flüssigkeit) (Benutzerdefinierte Designs)

Weit verbreitet in der Halbleiterfertigung zur Regelung der Temperatur der Reaktionskammer, der Temperatur der Wärmesenke und der Temperaturregelung der nicht brennbaren Flüssigkeit des Wärmeträgers.

 

Temperaturbereich -20°C ~ +80°C Reihe Serie -45°C ~ +80°C Serie -60°C ~ +80°C Serie -80°C ~ +80°C
Durchflusskontrolle7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden

 


 

HALBLEITER-KÜHLGERÄT

 

FLT-Reihe (Benutzerdefinierte Designs)

Das Halbleiter-Temperaturregelungssystem Chiller wird hauptsächlich für die präzise Temperaturregelung in der Halbleiterproduktion und im Testprozess verwendet. Er wurde speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt und konstruiert.

 

 

Temperaturbereich +5°C ~ +40°C -25°C ~ +40°C -45°C ~ +40°C -80°C ~ +80°C -100°C ~ +80°C
Kühlleistung6 ~ 40kW2 ~ 15kW1 ~ 8kW0,6 ~ 3kW1,5 ~ 3kW
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden

 

 


 

Halbleiter-Kühlgerät

 

FLT Multi Channel Temp Contol (Benutzerdefinierte Designs)

Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems. According to the required temperature range, steam compression refrigeration or ETCU non compressor heat exchange system can be selected. The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.

 

Temperaturbereich -20°C ~ +90°C-45°C ~ +80°C-10°C ~ +80°C-20°C ~ +100°C
Kühlleistung4kW5 ~ 13kW3 ~ 6kW8 ~ 15kW
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden

 


 

Kühler für Halbleiter

 

FLTZ-Serie Frequenzumwandlung (Benutzerdefinierte Designs)

Die Temperaturregelung, die Umwälzpumpe und der Kompressor werden alle durch Frequenzumwandlung eingestellt.

 

 

Temperaturbereich -30°C ~ +40°C
Kühlleistung5 ~ 11kW
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden

 


 

Halbleiter-Kühlgerät

ETCU-Reihe (Benutzerdefinierte Designs)

Art des Wärmeaustauschs

System ohne Kompressor

 

 

 

Temperaturbereich +5°C ~ +90°C
Kühlleistung5 ~ 30kW
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden

 


 

Kühlmittelverteilerstation

 

Baureihe ZLFQ (Benutzerdefinierte Designs)

Kühlmittelverteilereinheit

Flüssigkeitskühlgeräte eignen sich für die Prüfung von Halbleitern, die Prüfung elektronischer Geräte bei konstanter Temperatur, die Kühlung der Serverinfrastruktur und andere Orte, an denen die Temperatur von Flüssigkeiten kontrolliert wird.

 

 

 

Temperaturbereich +5°C ~ +35°C +5°C ~ +35°C
Kühlleistung15 ~ 150kW200 ~ 500kW
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden

 


 

Wärmeplatten

 

 

MD-Thermofutter-Serie (Benutzerdefinierte Designs)

Es wird für die Prüfung von HF-Bauteilen und Leistungsbauteilen mit hoher Dichte (IGBTs und MOSFETs) verwendet und kann auch für die schnelle Kühlung von flachen Laborplatten (Plasma, biologische Produkte, Batterien) usw. eingesetzt werden.

 

 

 

Temperaturbereich -75°C ~ +225°C
Temperaturgenauigkeit±0.1℃
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden

 

 

Gas-Temperaturregelsysteme                                                               

 

 

Strahlenschlagprüfmaschine der Serie AES

(Benutzerdefinierte Designs)

Temperaturregelbereich: -120°C ~ +225°C

 

 


 

AI-Serie Umluft-Temperaturregelsystem

(Benutzerdefinierte Designs)

Temperaturregelbereich: -105°C ~ +125°C

 

 

 


 

 

LQ Serie Gas-Kühlsystem

(Benutzerdefinierte Designs)

Temperaturregelbereich: -110°C ~ -40°C

 

 

 

 


 

YQH Serie VOCs AbgaskondensationsrückgewinnungsgerätGaskühler

(Benutzerdefinierte Designs)

Angewandt auf die Rückgewinnung von Gaskondensation und Verflüssigung. Die Abgase oder andere elektronische Gase werden über den Saugzugventilator (Vakuumpumpe) an das Gerät angeschlossen, verflüssigt, gesammelt und durch Absenken der Temperatur in den Sammelbehälter abgeschieden, und andere Gase werden abgeleitet, um die Kondensation, Erfassung und Rückgewinnung des Gases zu realisieren.

 


 

Kaltwassersätze

Baureihe ZLJ / SLJ (Benutzerdefinierte Designs)

Er ist für Orte geeignet, an denen die Wärmeaustauschfläche des Wärmetauschers klein, die Wärmeaustauschkapazität jedoch groß ist. Das Kältemittel wird direkt in den Ableiter geleitet, um zu verdampfen, und das Gas im Raum wird durch den Kondensationseffekt an der Oberfläche des Ableiters schnell aufgefangen.

 

 

Temperaturbereich -40°C ~ -15°C -80°C ~ -50°C -150°C ~ -110°C
Kühlleistung0,5 ~ 4kW0,37 ~ 3,1kW2,5 ~ 9kW
ZLJ-ReiheSLJ-Reihe
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden

Das Copyright liegt bei lneya-online.com, bitte kontaktieren Sie uns per E-Mail für weitere Informationen: lilia@lneya.com

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