Buscar en Buscar todos

Temperature Control System for Plasma Etching

ClasificaciónNoticias del sector 62 0

Temperature Control System for Plasma Etching

 

In semiconductor production, plasma etching is the core part of the process chain, including dry etching and wet etching. In dry etching, semiconductor plates (wafers) are plasma treated in a vacuum etching chamber. Ions in the plasma bombard the wafer, causing the material to break away. For example, the oxide layer on a silicon wafer can be removed in this way and then coated with a doped layer (which has foreign atoms added and therefore has some conductivity).

The temperature of the plasma affects the speed and efficiency of etching. If the temperature is too low, the plasma is not active enough to ablate material effectively. If the temperature is too high, the material may be over-ablated, causing errors and damage. Therefore, in semiconductor production, the most precise control of the plasma temperature is very important because the wafers are processed in the range between micrometers and nanometers. Even small changes in temperature can cause significant changes in the size and shape of etched structures. Wuxi Guanya can provide specialized temperature control solutions for the sensitive process of dry etching.

 


 

We provide complete temperature control systems design and manufacturing. From standard models to complete customized products. We specialize in customer service and are dedicated to helping each customer have the optimal temperature control system for their specific need.

Ofrecemos soluciones personalizadas no estándar. Disponemos tanto de enfriadoras individuales como de unidades combinadas de refrigeración y calefacción.

solicitar

Correo electrónico: lilia@lneya.com    WeChat ID: +8615251628237    WhatsApp: +86 17851209193

 

escanear

 


 

enfriador de semiconductores

Serie TES (Diseños a medida)

Adecuado para el control preciso de la temperatura de los componentes electrónicos. En la fabricación de componentes electrónicos semiconductores para entornos adversos, las fases de ensamblaje de embalajes de CI y de pruebas de ingeniería y producción incluyen pruebas térmicas electrónicas y otras simulaciones de pruebas ambientales.

 

Temperatura Serie -45°C ~ +250°C Serie -85°C ~ +200°C Serie -60°C ~ +200°C
Capacidad de refrigeración0,3 ~ 25 kW0,25 ~ 25 kW3 ~ 60kW
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración.

 


 

 

Serie LTS (Líquido fluorado) (Diseños a medida)

Ampliamente utilizado en el proceso de fabricación de semiconductores para controlar la temperatura de la cámara de reacción, la temperatura del disipador de calor y el control de la temperatura del fluido no inflamable del medio de transferencia de calor.

 

Temperatura Serie -20°C ~ +80°C Serie -45°C ~ +80°C Serie -60°C ~ +80°C Serie -80°C ~ +80°C
Control de caudal7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración.

 


 

ENFRIADOR DE SEMICONDUCTORES

 

Serie FLT (Diseños a medida)

El enfriador del sistema de control de temperatura de semiconductores se utiliza principalmente para el control preciso de la temperatura en el proceso de producción de semiconductores y el proceso de pruebas. Está especialmente desarrollado y diseñado para la industria de semiconductores.

 

 

Temperatura +5°C ~ +40°C -25°C ~ +40°C -45°C ~ +40°C -80°C ~ +80°C -100°C ~ +80°C
Capacidad de refrigeración6 ~ 40kW2 ~ 15kW1 ~ 8kW0,6 ~ 3 kW1,5 ~ 3 kW
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración.

 

 


 

enfriador de semiconductores

 

FLT Multi Channel Temp Contol (Diseños a medida)

Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems. According to the required temperature range, steam compression refrigeration or ETCU non compressor heat exchange system can be selected. The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.

 

Temperatura -20°C ~ +90°C-45°C ~ +80°C-10°C ~ +80°C-20°C ~ +100°C
Capacidad de refrigeración4kW5 ~ 13kW3 ~ 6kW8 ~ 15kW
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración.

 


 

enfriador para semiconductores

 

Conversión de frecuencia de la serie FLTZ (Diseños a medida)

El sistema de control de temperatura de la serie de conversión de doble frecuencia, la bomba de circulación y el compresor se ajustan mediante conversión de frecuencia.

 

 

Temperatura -30°C ~ +40°C
Capacidad de refrigeración5 ~ 11kW
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración.

 


 

enfriador de semiconductores

Serie ETCU (Diseños a medida)

Tipo de intercambio térmico

Sistema sin compresor

 

 

 

Temperatura +5°C ~ +90°C
Capacidad de refrigeración5 ~ 30 kW
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración.

 


 

unidad de distribución de refrigerante

 

Serie ZLFQ (Diseños a medida)

Unidad de distribución de refrigerante

El equipo de refrigeración líquida es adecuado para pruebas de semiconductores, pruebas de temperatura constante de equipos electrónicos, infraestructura de soporte de servidores de refrigeración y otros lugares de control de temperatura de fluidos.

 

 

 

Temperatura +5°C ~ +35°C +5°C ~ +35°C
Capacidad de refrigeración15 ~ 150 kW200 ~ 500 kW
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración.

 


 

placas térmicas

 

 

Serie de mandriles térmicos MD (Diseños a medida)

Se utiliza para probar dispositivos de radiofrecuencia y dispositivos de potencia de alta densidad (IGBT y MOSFET), y también puede utilizarse para el enfriamiento rápido de paneles planos de laboratorio (plasma, productos biológicos, baterías), etc.

 

 

 

Temperatura -75°C ~ +225°C
Precisión de la temperatura±0.1℃
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración.

 

 

Sistemas de control de la temperatura del gas                                                               

 

 

Máquina de ensayo de impacto por chorro de la serie AES

(Diseños a medida)

Rango de control de temperatura: -120°C ~ +225°C

 

 


 

Sistema de control de temperatura del aire de recirculación de la serie AI

(Diseños a medida)

Rango de control de temperatura: -105°C ~ +125°C

 

 

 


 

 

Sistema de refrigeración por gas serie LQ

(Diseños a medida)

Rango de control de temperatura: -110°C ~ -40°C

 

 

 

 


 

Recuperador de condensación de gases residuales de la serie YQHenfriador de gas

(Diseños a medida)

Aplicado a la recuperación de licuefacción por condensación de gases. Los gases de escape u otros gases electrónicos se conectan al equipo a través del ventilador de tiro inducido (bomba de vacío), se licúan, se recogen y se separan en el depósito de recogida bajando la temperatura, y se descargan otros gases, para realizar la condensación, captura y recuperación del gas.

 


 

enfriadores de agua

Serie ZLJ / SLJ (Diseños a medida)

Es adecuado para lugares donde el área de intercambio de calor del intercambiador de calor es pequeña pero la capacidad de intercambio de calor es grande. También se puede utilizar para la captura de gas, el refrigerante pasa directamente a la trampa para evaporarse, y el gas en el espacio se captura rápidamente a través del efecto de condensación en la superficie de la trampa.

 

 

Temperatura -40°C ~ -15°C -80°C ~ -50°C -150°C ~ -110°C
Capacidad de refrigeración0,5 ~ 4 kW0,37 ~ 3,1 kW2,5 ~ 9 kW
Serie ZLJSerie SLJ
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración.

La información sobre derechos de autor pertenece a lneya-online.com, por favor contacte por correo electrónico para más detalles: lilia@lneya.com

O escanee el código QR de WhatsApp o WeChat que aparece a continuación para ponerse en contacto con nosotros. 

WhatsAPP WeChat

escanear

Anterior: Siguiente:
Solicitar presupuesto
Llame a
Buzón
Nombre
Empresa
Rellene sus requisitos de producto
展开更多
Obtener presupuesto gratuito

cargando...

购物车

X

我的足迹

X
palabras clave:Alegría embotellada enfriador de agua