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Temperature Control System for Plasma Etching

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Temperature Control System for Plasma Etching

 

In semiconductor production, plasma etching is the core part of the process chain, including dry etching and wet etching. In dry etching, semiconductor plates (wafers) are plasma treated in a vacuum etching chamber. Ions in the plasma bombard the wafer, causing the material to break away. For example, the oxide layer on a silicon wafer can be removed in this way and then coated with a doped layer (which has foreign atoms added and therefore has some conductivity).

The temperature of the plasma affects the speed and efficiency of etching. If the temperature is too low, the plasma is not active enough to ablate material effectively. If the temperature is too high, the material may be over-ablated, causing errors and damage. Therefore, in semiconductor production, the most precise control of the plasma temperature is very important because the wafers are processed in the range between micrometers and nanometers. Even small changes in temperature can cause significant changes in the size and shape of etched structures. Wuxi Guanya can provide specialized temperature control solutions for the sensitive process of dry etching.

 


 

We provide complete temperature control systems design and manufacturing. From standard models to complete customized products. We specialize in customer service and are dedicated to helping each customer have the optimal temperature control system for their specific need.

Forniamo soluzioni personalizzate non standard. Sono disponibili sia chiller a raffreddamento singolo che unità combinate di raffreddamento e riscaldamento.

richiesta

E-mail: lilia@lneya.com    ID WeChat: +8615251628237    WhatsApp: +86 17851209193

 

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refrigeratore per semiconduttori

Serie TES (Disegni personalizzati)

Adatto per il controllo preciso della temperatura dei componenti elettronici. Nella produzione di componenti elettronici a semiconduttore per ambienti difficili, le fasi di assemblaggio dell'imballaggio IC e di test di progettazione e produzione includono test termici elettronici e altre simulazioni di test ambientali.

 

Intervallo di temperatura Serie -45°C ~ +250°C Serie -85°C ~ +200°C Serie -60°C ~ +200°C
Capacità di raffreddamento0,3 ~ 25kW0,25 ~ 25kW3 ~ 60kW
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati.

 


 

 

Serie LTS (liquido fluorurato) (Disegni personalizzati)

Ampiamente utilizzato nel processo di produzione dei semiconduttori per controllare la temperatura della camera di reazione, la temperatura del dissipatore di calore e il controllo della temperatura del fluido non infiammabile del mezzo di trasferimento del calore.

 

Intervallo di temperatura Serie -20°C ~ +80°C Serie -45°C ~ +80°C Serie -60°C ~ +80°C Serie -80°C ~ +80°C
Controllo del flusso7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati.

 


 

REFRIGERATORE PER SEMICONDUTTORI

 

Serie FLT (Disegni personalizzati)

Il refrigeratore del sistema di controllo della temperatura dei semiconduttori è utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nel processo di produzione e di test dei semiconduttori. È stato sviluppato e progettato appositamente per l'industria dei semiconduttori.

 

 

Intervallo di temperatura +5°C ~ +40°C -25°C ~ +40°C -45°C ~ +40°C -80°C ~ +80°C -100°C ~ +80°C
Capacità di raffreddamento6 ~ 40kW2 ~ 15kW1 ~ 8kW0,6 ~ 3kW1,5 ~ 3kW
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati.

 

 


 

refrigeratore per semiconduttori

 

FLT Multi Channel Temp Contol (Disegni personalizzati)

Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems. According to the required temperature range, steam compression refrigeration or ETCU non compressor heat exchange system can be selected. The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.

 

Intervallo di temperatura -20°C ~ +90°C-45°C ~ +80°C-10°C ~ +80°C-20°C ~ +100°C
Capacità di raffreddamento4kW5 ~ 13kW3 ~ 6kW8 ~ 15kW
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati.

 


 

refrigeratore per semiconduttori

 

Serie FLTZ Conversione di frequenza (Disegni personalizzati)

Il sistema di controllo della temperatura della serie a doppia conversione di frequenza, la pompa di circolazione e il compressore sono regolati dalla conversione di frequenza.

 

 

Intervallo di temperatura -30°C ~ +40°C
Capacità di raffreddamento5 ~ 11kW
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati.

 


 

refrigeratore per semiconduttori

Serie ETCU (Disegni personalizzati)

Tipo di scambio termico

Sistema senza compressore

 

 

 

Intervallo di temperatura +5°C ~ +90°C
Capacità di raffreddamento5 ~ 30kW
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati.

 


 

unità di distribuzione del refrigerante

 

Serie ZLFQ (Disegni personalizzati)

Unità di distribuzione del refrigerante

L'apparecchiatura di raffreddamento a liquido è adatta per il test dei semiconduttori, per il test della temperatura costante delle apparecchiature elettroniche, per il raffreddamento dell'infrastruttura di supporto dei server e per altri luoghi di controllo della temperatura dei fluidi.

 

 

 

Intervallo di temperatura +5°C ~ +35°C +5°C ~ +35°C
Capacità di raffreddamento15 ~ 150kW200 ~ 500kW
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati.

 


 

piastre termiche

 

 

Serie di mandrini termici MD (Disegni personalizzati)

Viene utilizzato per testare dispositivi RF e dispositivi di potenza ad alta densità (IGBT e MOSFET) e può essere utilizzato anche per il raffreddamento rapido di pannelli piatti da laboratorio (plasma, prodotti biologici, batterie), ecc.

 

 

 

Intervallo di temperatura -75°C ~ +225°C
Precisione della temperatura±0.1℃
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati.

 

 

Sistemi di controllo della temperatura del gas                                                               

 

 

Macchina per prove d'urto a getto della serie AES

(Disegni personalizzati)

Gamma di controllo della temperatura: -120°C ~ +225°C

 

 


 

Sistema di controllo della temperatura dell'aria di ricircolo della serie AI

(Disegni personalizzati)

Campo di controllo della temperatura: -105°C ~ +125°C

 

 

 


 

 

Sistema di refrigerazione a gas serie LQ

(Disegni personalizzati)

Gamma di controllo della temperatura: -110°C ~ -40°C

 

 

 

 


 

Dispositivo di recupero della condensa dei gas di scarico della serie YQHrefrigeratore a gas

(Disegni personalizzati)

Applicato al recupero della liquefazione dei gas di condensazione. I gas di scarico o altri gas elettronici vengono collegati all'apparecchiatura attraverso il ventilatore a tiraggio indotto (pompa del vuoto), liquefatti, raccolti e separati nel serbatoio di raccolta abbassando la temperatura, mentre gli altri gas vengono scaricati, in modo da realizzare la condensazione, la cattura e il recupero del gas.

 


 

refrigeratori d'acqua

Serie ZLJ / SLJ (Disegni personalizzati)

È adatto a luoghi in cui l'area di scambio termico dello scambiatore di calore è piccola ma la capacità di scambio termico è grande. Può essere utilizzata anche per la cattura dei gas: il refrigerante viene fatto passare direttamente nella trappola per evaporare e il gas presente nello spazio viene rapidamente catturato grazie all'effetto di condensazione sulla superficie della trappola.

 

 

Intervallo di temperatura -40°C ~ -15°C -80°C ~ -50°C -150°C ~ -110°C
Capacità di raffreddamento0,5 ~ 4kW0,37 ~ 3,1kW2,5 ~ 9kW
Serie ZLJSerie SLJ
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati.

Le informazioni sul copyright appartengono a lneya-online.com, si prega di contattare l'e-mail per i dettagli: lilia@lneya.com

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