Semiconductor Wafer Testing Temperature Control System
The wafer testing temperature control system is a key equipment used in semiconductor production to accurately control the wafer temperature to ensure product quality and performance. It consists of a temperature control device, a temperature sensor, a control algorithm and data acquisition, and will face higher precision and accuracy in the future. Stability challenges.
Principle and composition of semiconductor wafer testing temperature control system
The basic principle of the wafer testing temperature control system is to ensure that the wafer is in a constant temperature state during the semiconductor testing process through precise temperature control and stability. The temperature of the wafer has an important impact on the performance and reliability of semiconductor devices. Therefore, testing the stability and accuracy of the temperature control system is very critical. The system usually consists of the following parts:
1. Temperature control device: Responsible for providing the required temperature control.
2. Temperature sensor: monitor temperature changes in real time.
3. Control algorithm: Adjust according to the monitored temperature changes to maintain the set temperature.
4. Data collection: Collect temperature data for analysis and recording.
Application fields of semiconductor wafer testing temperature control system
1. Semiconductor production: Functional and reliability testing of chips.
2. Semiconductor packaging: testing and evaluating packaging materials.
3. R&D and education: testing and verification of new materials and new processes.
Solutions for wafer testing
Wafer high and low temperature testing has become increasingly important in fields such as automotive electronics, photovoltaics, and industrial automation. Challenges include:
1. Temperature uniformity control: ensure a precise temperature environment.
2. Temperature rise and fall rate: The rate is increased through zone temperature control and reforming.
3. Reduce the impact of high temperature on components: avoid oxidation and physical deformation.
The wafer testing temperature control system plays a decisive role in the quality of semiconductor products. With the development of technology, systems face higher requirements and require continuous innovation and improvement to adapt to new challenges. Through research and technical solutions, the performance of the system can be improved and the quality and reliability of semiconductor devices can be ensured.
We provide complete temperature control systems design and manufacturing. From standard models to complete customized products. We specialize in customer service and are dedicated to helping each customer have the optimal temperature control system for their specific need.
Forniamo soluzioni personalizzate non standard. Sono disponibili sia chiller a raffreddamento singolo che unità combinate di raffreddamento e riscaldamento.
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Serie TES (Disegni personalizzati)
Adatto per il controllo preciso della temperatura dei componenti elettronici. Nella produzione di componenti elettronici a semiconduttore per ambienti difficili, le fasi di assemblaggio dell'imballaggio IC e di test di progettazione e produzione includono test termici elettronici e altre simulazioni di test ambientali.
Intervallo di temperatura | Serie -45°C ~ +250°C | Serie -85°C ~ +200°C | Serie -60°C ~ +200°C | ||||||
Capacità di raffreddamento | 0,3 ~ 25kW | 0,25 ~ 25kW | 3 ~ 60kW | ||||||
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati. |
Serie LTS (liquido fluorurato) (Disegni personalizzati)
Ampiamente utilizzato nel processo di produzione dei semiconduttori per controllare la temperatura della camera di reazione, la temperatura del dissipatore di calore e il controllo della temperatura del fluido non infiammabile del mezzo di trasferimento del calore.
Intervallo di temperatura | Serie -20°C ~ +80°C | Serie -45°C ~ +80°C | Serie -60°C ~ +80°C | Serie -80°C ~ +80°C | |||||
Controllo del flusso | 7 ~ 45 L/min | 7 ~ 45 L/min | 7 ~ 45 L/min | 7 ~ 45 L/min | |||||
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati. |
Serie FLT (Disegni personalizzati)
Il refrigeratore del sistema di controllo della temperatura dei semiconduttori è utilizzato principalmente per il controllo preciso della temperatura nel processo di produzione e di test dei semiconduttori. È stato sviluppato e progettato appositamente per l'industria dei semiconduttori.
Intervallo di temperatura | +5°C ~ +40°C | -25°C ~ +40°C | -45°C ~ +40°C | -80°C ~ +80°C | -100°C ~ +80°C | ||||
Capacità di raffreddamento | 6 ~ 40kW | 2 ~ 15kW | 1 ~ 8kW | 0,6 ~ 3kW | 1,5 ~ 3kW | ||||
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati. |
FLT Multi Channel Temp Contol (Disegni personalizzati)
Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems. According to the required temperature range, steam compression refrigeration or ETCU non compressor heat exchange system can be selected. The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.
Intervallo di temperatura | -20°C ~ +90°C | -45°C ~ +80°C | -10°C ~ +80°C | -20°C ~ +100°C | |||||
Capacità di raffreddamento | 4kW | 5 ~ 13kW | 3 ~ 6kW | 8 ~ 15kW | |||||
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati. |
Serie FLTZ Conversione di frequenza (Disegni personalizzati)
Il sistema di controllo della temperatura della serie a doppia conversione di frequenza, la pompa di circolazione e il compressore sono regolati dalla conversione di frequenza.
Intervallo di temperatura | -30°C ~ +40°C | ||||||||
Capacità di raffreddamento | 5 ~ 11kW | ||||||||
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati. |
Serie ETCU (Disegni personalizzati)
Tipo di scambio termico
Sistema senza compressore
Intervallo di temperatura | +5°C ~ +90°C | ||||||||
Capacità di raffreddamento | 5 ~ 30kW | ||||||||
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati. |
Serie ZLFQ (Disegni personalizzati)
Unità di distribuzione del refrigerante
L'apparecchiatura di raffreddamento a liquido è adatta per il test dei semiconduttori, per il test della temperatura costante delle apparecchiature elettroniche, per il raffreddamento dell'infrastruttura di supporto dei server e per altri luoghi di controllo della temperatura dei fluidi.
Intervallo di temperatura | +5°C ~ +35°C | +5°C ~ +35°C | |||||||
Capacità di raffreddamento | 15 ~ 150kW | 200 ~ 500kW | |||||||
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati. |
Serie di mandrini termici MD (Disegni personalizzati)
Viene utilizzato per testare dispositivi RF e dispositivi di potenza ad alta densità (IGBT e MOSFET) e può essere utilizzato anche per il raffreddamento rapido di pannelli piatti da laboratorio (plasma, prodotti biologici, batterie), ecc.
Intervallo di temperatura | -75°C ~ +225°C | ||||||||
Precisione della temperatura | ±0.1℃ | ||||||||
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati. |
Macchina per prove d'urto a getto della serie AES
Gamma di controllo della temperatura: -120°C ~ +225°C
Sistema di controllo della temperatura dell'aria di ricircolo della serie AI
Campo di controllo della temperatura: -105°C ~ +125°C
Sistema di refrigerazione a gas serie LQ
Gamma di controllo della temperatura: -110°C ~ -40°C
Dispositivo di recupero della condensa dei gas di scarico della serie YQH
Applicato al recupero della liquefazione dei gas di condensazione. I gas di scarico o altri gas elettronici vengono collegati all'apparecchiatura attraverso il ventilatore a tiraggio indotto (pompa del vuoto), liquefatti, raccolti e separati nel serbatoio di raccolta abbassando la temperatura, mentre gli altri gas vengono scaricati, in modo da realizzare la condensazione, la cattura e il recupero del gas.
Serie ZLJ / SLJ (Disegni personalizzati)
È adatto a luoghi in cui l'area di scambio termico dello scambiatore di calore è piccola ma la capacità di scambio termico è grande. Può essere utilizzata anche per la cattura dei gas: il refrigerante viene fatto passare direttamente nella trappola per evaporare e il gas presente nello spazio viene rapidamente catturato grazie all'effetto di condensazione sulla superficie della trappola.
Intervallo di temperatura | -40°C ~ -15°C | -80°C ~ -50°C | -150°C ~ -110°C | ||||||
Capacità di raffreddamento | 0,5 ~ 4kW | 0,37 ~ 3,1kW | 2,5 ~ 9kW | ||||||
Serie ZLJ | Serie SLJ | ||||||||
Nota: qualsiasi intervallo di temperatura da -150℃ a +350℃ e qualsiasi capacità di raffreddamento possono essere personalizzati. |