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Semiconductor Wafer Testing Temperature Control System

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Semiconductor Wafer Testing Temperature Control System

 

The wafer testing temperature control system is a key equipment used in semiconductor production to accurately control the wafer temperature to ensure product quality and performance. It consists of a temperature control device, a temperature sensor, a control algorithm and data acquisition, and will face higher precision and accuracy in the future. Stability challenges.

Principle and composition of semiconductor wafer testing temperature control system

The basic principle of the wafer testing temperature control system is to ensure that the wafer is in a constant temperature state during the semiconductor testing process through precise temperature control and stability. The temperature of the wafer has an important impact on the performance and reliability of semiconductor devices. Therefore, testing the stability and accuracy of the temperature control system is very critical. The system usually consists of the following parts:

1. Temperature control device: Responsible for providing the required temperature control.

2. Temperature sensor: monitor temperature changes in real time.

3. Control algorithm: Adjust according to the monitored temperature changes to maintain the set temperature.

4. Data collection: Collect temperature data for analysis and recording.

Application fields of semiconductor wafer testing temperature control system

1. Semiconductor production: Functional and reliability testing of chips.

2. Semiconductor packaging: testing and evaluating packaging materials.

3. R&D and education: testing and verification of new materials and new processes.

 

Semiconductor Wafer Testing Temperature Control System

 

Solutions for wafer testing

Wafer high and low temperature testing has become increasingly important in fields such as automotive electronics, photovoltaics, and industrial automation. Challenges include:

1. Temperature uniformity control: ensure a precise temperature environment.

2. Temperature rise and fall rate: The rate is increased through zone temperature control and reforming.

3. Reduce the impact of high temperature on components: avoid oxidation and physical deformation.

The wafer testing temperature control system plays a decisive role in the quality of semiconductor products. With the development of technology, systems face higher requirements and require continuous innovation and improvement to adapt to new challenges. Through research and technical solutions, the performance of the system can be improved and the quality and reliability of semiconductor devices can be ensured.

 


 

We provide complete temperature control systems design and manufacturing. From standard models to complete customized products. We specialize in customer service and are dedicated to helping each customer have the optimal temperature control system for their specific need.

私達は標準外カスタマイズされた解決を提供します。単一の冷却のスリラーおよび冷却及び暖房のコンボの単位は両方利用できます。

リクエスト

Eメール lilia@lneya.com    WeChat ID: +8615251628237    WhatsApp: +86 17851209193

 

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半導体チラー

TESシリーズ (カスタムデザイン)

電子部品の精密な温度制御に適しています。過酷な環境に対応する半導体電子部品の製造では、ICパッケージの組み立てやエンジニアリング、製造テストの段階で、電子温度テストやその他の環境テストシミュレーションが行われます。

 

温度範囲 -45°C ~ +250°C シリーズ -85°C ~ +200°Cシリーズ -60°C ~ +200°Cシリーズ
冷却能力0.3 ~ 25kW0.25 ~ 25kW3〜60kW
注: -150℃の~ +350℃からの温度較差および冷却容量はカスタマイズすることができる

 


 

 

LTSシリーズ(フッ素系液体) (カスタムデザイン)

半導体製造プロセスにおいて、反応室の温度制御、ヒートシンクの温度制御、熱媒体の不燃性流体の温度制御に広く使用されている。

 

温度範囲 -20°C ~ +80°Cシリーズ -45°C ~ +80°Cシリーズ -60°C ~ +80°C シリーズ -80°C ~ +80°Cシリーズ
フロー制御7 ~ 45 L/分7 ~ 45 L/分7 ~ 45 L/分7 ~ 45 L/分
注: -150℃の~ +350℃からの温度較差および冷却容量はカスタマイズすることができる

 


 

半導体チラー

 

FLTシリーズ (カスタムデザイン)

半導体の温度調整システムのスリラーは半導体の生産工程およびテスト プロセスの精密な温度調整のために主に使用されます。それは半導体工業のために特に開発され、設計されています。

 

 

温度範囲 +5°C ~ +40°C -25°C ~ +40°C -45°C ~ +40°C -80°C ~ +80°C -100°C ~ +80°C
冷却能力6〜40kW2~15kW1~8kW0.6 ~ 3kW1.5~3kW
注: -150℃の~ +350℃からの温度較差および冷却容量はカスタマイズすることができる

 

 


 

半導体チラー

 

FLT Multi Channel Temp Contol (カスタムデザイン)

Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems. According to the required temperature range, steam compression refrigeration or ETCU non compressor heat exchange system can be selected. The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.

 

温度範囲 -20°C ~ +90°C-45°C ~ +80°C-10°C ~ +80°C-20°C ~ +100°C
冷却能力4kW5 ~ 13kW3 ~ 6kW8 ~ 15kW
注: -150℃の~ +350℃からの温度較差および冷却容量はカスタマイズすることができる

 


 

半導体用チラー

 

FLTZシリーズ 周波数変換(カスタムデザイン)

二重周波数変換シリーズ温度制御システム、循環ポンプとコンプレッサーはすべて周波数変換によって調整されます。

 

 

温度範囲 -30°C ~ +40°C
冷却能力5~11kW
注: -150℃の~ +350℃からの温度較差および冷却容量はカスタマイズすることができる

 


 

半導体チラー

ETCUシリーズカスタムデザイン)

熱交換タイプ

コンプレッサーなしのシステム

 

 

 

温度範囲 +5°C ~ +90°C
冷却能力5 ~ 30kW
注: -150℃の~ +350℃からの温度較差および冷却容量はカスタマイズすることができる

 


 

冷却水分配ユニット

 

ZLFQシリーズカスタムデザイン)

クーラント分配ユニット

液冷装置は、半導体試験、電子機器恒温試験、サーバー支持インフラ冷却、その他の流体温度制御場所に適しています。

 

 

 

温度範囲 +5°C ~ +35°C +5°C ~ +35°C
冷却能力15~150kW200~500kW
注: -150℃の~ +350℃からの温度較差および冷却容量はカスタマイズすることができる

 


 

サーマルプレート

 

 

MDサーマルチャックシリーズカスタムデザイン)

RFデバイスや高密度パワーデバイス(IGBTやMOSFET)のテストに使用され、実験用フラットパネル(プラズマ、生物学的製品、バッテリー)などの急速冷却にも使用できる。

 

 

 

温度範囲 -75°C ~ +225°C
温度精度±0.1℃
注: -150℃の~ +350℃からの温度較差および冷却容量はカスタマイズすることができる

 


 

 

AESシリーズ ジェット衝撃試験機

(カスタムデザイン)

温度制御範囲: -120°C ~ +225°C

 

 


 

AIシリーズ循環式空気温度制御システム

(カスタムデザイン)

温度制御範囲: -105°C ~ +125°C

 

 

 


 

 

LQシリーズガス冷凍システム

(カスタムデザイン)

温度制御範囲: -110°C ~ -40°C

 

 

 

 


 

YQHシリーズ VOCs廃ガス凝縮回収装置ガス冷凍機

(カスタムデザイン)

ガス凝縮液化回収に適用。排気ガスやその他の電子ガスを誘引通風機(真空ポンプ)を通して装置に接続し、液化して回収タンクに集め、温度を下げて分離し、その他のガスは排出することで、ガスの凝縮、捕獲、回収を実現する。

 


 

冷水機

ZLJ / SLJ シリーズ (カスタムデザイン)

熱交換器の熱交換面積が小さく、熱交換容量が大きい場所に適しています。また、ガス捕捉にも使用でき、冷媒を直接トラップに通して蒸発させ、トラップ表面の凝縮効果で空間内のガスを素早く捕捉します。

 

 

温度範囲 -40°C ~ -15°C -80°C ~ -50°C -150°C〜-110°C
冷却能力0.5 ~ 4kW0.37~3.1kW2.5~9kW
ZLJシリーズSLJシリーズ
注: -150℃の~ +350℃からの温度較差および冷却容量はカスタマイズすることができる

著作権情報はlneya-online.comに帰属します。詳細はメールにてお問い合わせください: lilia@lneya.com

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