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Temperature Control System for Plasma Etching

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Temperature Control System for Plasma Etching

 

In semiconductor production, plasma etching is the core part of the process chain, including dry etching and wet etching. In dry etching, semiconductor plates (wafers) are plasma treated in a vacuum etching chamber. Ions in the plasma bombard the wafer, causing the material to break away. For example, the oxide layer on a silicon wafer can be removed in this way and then coated with a doped layer (which has foreign atoms added and therefore has some conductivity).

The temperature of the plasma affects the speed and efficiency of etching. If the temperature is too low, the plasma is not active enough to ablate material effectively. If the temperature is too high, the material may be over-ablated, causing errors and damage. Therefore, in semiconductor production, the most precise control of the plasma temperature is very important because the wafers are processed in the range between micrometers and nanometers. Even small changes in temperature can cause significant changes in the size and shape of etched structures. Wuxi Guanya can provide specialized temperature control solutions for the sensitive process of dry etching.

 


 

We provide complete temperature control systems design and manufacturing. From standard models to complete customized products. We specialize in customer service and are dedicated to helping each customer have the optimal temperature control system for their specific need.

Nous fournissons des solutions personnalisées non standard. Nous proposons aussi bien des refroidisseurs à simple refroidissement que des unités combinées de refroidissement et de chauffage.

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Courriel : lilia@lneya.com    ID WeChat : +8615251628237    WhatsApp : +86 17851209193

 

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refroidisseur de semi-conducteurs

Série TES (Modèles sur mesure)

Convient pour le contrôle précis de la température des composants électroniques. Lors de la fabrication de composants électroniques semi-conducteurs destinés à des environnements difficiles, les phases d'assemblage, d'ingénierie et d'essais de production de l'emballage des circuits intégrés comprennent des essais thermiques électroniques et d'autres simulations d'essais environnementaux.

 

Plage de température Série -45°C ~ +250°C Série -85°C ~ +200°C Série -60°C ~ +200°C
Capacité de refroidissement0,3 ~ 25kW0,25 ~ 25kW3 ~ 60kW
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

 


 

 

Série LTS (liquide fluoré) (Modèles sur mesure)

Largement utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs pour contrôler la température de la chambre de réaction, la température du dissipateur thermique et le contrôle de la température du fluide ininflammable de l'agent de transfert de chaleur.

 

Plage de température Série -20°C ~ +80°C Série -45°C ~ +80°C Série -60°C ~ +80°C Série -80°C ~ +80°C
Contrôle du débit7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

 


 

REFROIDISSEUR DE SEMI-CONDUCTEURS

 

Série FLT (Modèles sur mesure)

Le refroidisseur du système de contrôle de la température des semi-conducteurs est principalement utilisé pour le contrôle précis de la température dans le processus de production et de test des semi-conducteurs. Il est spécialement développé et conçu pour l'industrie des semi-conducteurs.

 

 

Plage de température +5°C ~ +40°C -25°C ~ +40°C -45°C ~ +40°C -80°C ~ +80°C -100°C ~ +80°C
Capacité de refroidissement6 ~ 40kW2 ~ 15kW1 ~ 8kW0,6 ~ 3kW1,5 ~ 3kW
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

 

 


 

refroidisseur de semi-conducteurs

 

FLT Multi Channel Temp Contol (Modèles sur mesure)

Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems. According to the required temperature range, steam compression refrigeration or ETCU non compressor heat exchange system can be selected. The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.

 

Plage de température -20°C ~ +90°C-45°C ~ +80°C-10°C ~ +80°C-20°C ~ +100°C
Capacité de refroidissement4kW5 ~ 13kW3 ~ 6kW8 ~ 15kW
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

 


 

refroidisseur pour semi-conducteur

 

Série FLTZ Conversion de fréquence (Modèles sur mesure)

Système de régulation de la température, pompe de circulation et compresseur réglés par conversion de fréquence.

 

 

Plage de température -30°C ~ +40°C
Capacité de refroidissement5 ~ 11kW
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

 


 

refroidisseur de semi-conducteurs

Série ETCU (Modèles sur mesure)

Type d'échange thermique

Système sans compresseur

 

 

 

Plage de température +5°C ~ +90°C
Capacité de refroidissement5 ~ 30kW
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

 


 

unité de distribution du liquide de refroidissement

 

Série ZLFQ (Modèles sur mesure)

Unité de distribution du liquide de refroidissement

L'équipement de refroidissement liquide convient aux tests de semi-conducteurs, aux tests de température constante des équipements électroniques, au refroidissement de l'infrastructure de soutien des serveurs et à d'autres lieux de contrôle de la température des fluides.

 

 

 

Plage de température +5°C ~ +35°C +5°C ~ +35°C
Capacité de refroidissement15 ~ 150kW200 ~ 500kW
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

 


 

plaques thermiques

 

 

Série de mandrins thermiques MD (Modèles sur mesure)

Il est utilisé pour tester les dispositifs RF et les dispositifs de puissance à haute densité (IGBT et MOSFET), et peut également être utilisé pour le refroidissement rapide des panneaux plats de laboratoire (plasma, produits biologiques, batteries), etc.

 

 

 

Plage de température -75°C ~ +225°C
Précision de la température±0.1℃
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

 

 

Systèmes de contrôle de la température des gaz                                                               

 

 

Machine d'essai d'impact à jet de la série AES

(Modèles sur mesure)

Plage de contrôle de la température : -120°C ~ +225°C

 

 


 

Système de régulation de la température de l'air recyclé de la série AI

(Modèles sur mesure)

Plage de contrôle de la température : -105°C ~ +125°C

 

 

 


 

 

Système de réfrigération à gaz de la série LQ

(Modèles sur mesure)

Plage de contrôle de la température : -110°C ~ -40°C

 

 

 

 


 

Dispositif de récupération par condensation des gaz résiduaires COV de la série YQHrefroidisseur à gaz

(Modèles sur mesure)

Appliqué à la récupération par condensation et liquéfaction des gaz. Les gaz d'échappement ou d'autres gaz électroniques sont connectés à l'équipement par l'intermédiaire du ventilateur à tirage induit (pompe à vide), liquéfiés, collectés et séparés dans le réservoir de collecte en abaissant la température, et les autres gaz sont évacués, de manière à réaliser la condensation, la capture et la récupération du gaz.

 


 

refroidisseurs d'eau

Série ZLJ / SLJ (Modèles sur mesure)

Il convient aux endroits où la zone d'échange de chaleur de l'échangeur de chaleur est petite mais où la capacité d'échange de chaleur est grande. Il peut également être utilisé pour la capture de gaz, le réfrigérant passe directement dans le piège pour s'évaporer, et le gaz dans l'espace est rapidement capturé par l'effet de condensation sur la surface du piège.

 

 

Plage de température -40°C ~ -15°C -80°C ~ -50°C -150°C ~ -110°C
Capacité de refroidissement0,5 ~ 4kW0,37 ~ 3,1 kW2,5 ~ 9kW
Série ZLJSérie SLJ
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

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