半導体製造プロセスにおいて、反応室の温度制御、ヒートシンクの温度制御、熱媒体の不燃性流体の温度制御に広く使用されている。
1.媒体循環システムの保圧テストは7 barである。
2.メカニカルシャフトシールのない高品質のマグネットポンプを使用する。
3.温度サンプリングと応答速度を最適化し、特別に設計された制御アルゴリズムは、安定した温度制御に迅速に応答することができます。
4.システムの高揚程要件を満たすために、循環ポンプ容量の設計を強化する。
5.連続高温冷却技術は、ヒートシンクプレートに熱が負荷され、冷却と加熱の一定の温度制御が要求される場合に、安定した動作の要件を満たします。
6.フッ素系液体の揮発性を考慮し、媒体の耐用年数を確保するため、継手の設計とシステムのシール設計を強化する。
お客様事例
モデル | LTS-602 | LTS-603 | LTS-604 | LTS-606 | LTS-608 |
LTS-602W | LTS-603W | LTS-604W | LTS-606W | LTS-608W |
温度範囲 | -60℃~80℃ |
温度制御精度 | ±0.1℃ -60℃~-30℃ |
フロー制御 | 7~25L/分 | 12~45L/分 |
| 流量制御は周波数変換器調節を採用し、流量センサーのフィードバック信号によって自動的に速度が調節される。循環ポンプの最大圧力は5barです。 |
内部循環液量 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
膨張タンク容量 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
システム圧力表示 | 冷凍システムの圧力は、指針式圧力計(高圧、低圧)で示されます。 |
循環系の圧力取得出口位置は、圧力センサーによって検出され、タッチスクリーンに表示される |
コントローラー | シーメンスPLC、カスケード制御アルゴリズムによるファジーPID制御アルゴリズム。 |
温度制御 | 熱媒体出口温度制御モード |
外部温度センサー:(PT100または4~20mAまたは通信設定)制御モード(カスケード制御) |
同意書 | イーサネット・インターフェース TCP/IPプロトコル |
RS485インターフェース modbus RTUプロトコル |
機器の内部温度フィードバック | 機器伝熱媒体出口温度、媒体入口温度、冷凍システム凝縮温度、周囲温度、コンプレッサー吸込温度、冷却水温度(水冷機器に使用可能) |
閉鎖循環システム | システム全体は完全に密閉されたシステムであり、低温は空気中の水分を吸収せず、熱媒体を揮発させず、低温は自動的に熱媒体を循環システムに補足する。 |
コンプレッサー | エマソン・コープランド/ダンフォス・スクロールフレキシブルコンプレッサー |
循環ポンプ | ドイツブランドの磁気循環ポンプ |
蒸発器 | プレート式熱交換器 |
コンデンサー | マイクロチャンネルコンデンサー(空冷式) |
プレート式熱交換器(水冷式)、特に注意:きれいな工場用水が必要 |
冷凍アクセサリー | ダンフォス/エマソンの付属品(フィルタードライヤー、オイルセパレーター、高低圧プロテクター、膨張弁) |
操作パネル | 無錫Guanyaカスタマイズされた7インチカラータッチスクリーン、温度曲線表示前EXCELデータエクスポート |
セキュリティ | 自己診断機能付き; 相順序の開相保護装置、冷凍機械の積み過ぎの保護; 高圧圧力スイッチ、積み過ぎのリレー、熱保護装置および他の保証機能。 |
モデル | LTS-602 | LTS-603 | LTS-604 | LTS-606 | LTS-608 |
LTS-602W | LTS-603W | LTS-604W | LTS-606W | LTS-608W |
温度範囲 | -60℃~80℃ |
温度制御精度 | ±0.1℃ -60℃~-30℃ |
フロー制御 | 7~25L/分 | 12~45L/分 |
| 流量制御は周波数変換器調節を採用し、流量センサーのフィードバック信号によって自動的に速度が調節される。循環ポンプの最大圧力は5barです。 |
内部循環液量 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
膨張タンク容量 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
システム圧力表示 | 冷凍システムの圧力は、指針式圧力計(高圧、低圧)で示されます。 |
循環系の圧力取得出口位置は、圧力センサーによって検出され、タッチスクリーンに表示される |
コントローラー | シーメンスPLC、カスケード制御アルゴリズムによるファジーPID制御アルゴリズム。 |
温度制御 | 熱媒体出口温度制御モード |
外部温度センサー:(PT100または4~20mAまたは通信設定)制御モード(カスケード制御) |
同意書 | イーサネット・インターフェース TCP/IPプロトコル |
RS485インターフェース modbus RTUプロトコル |
機器の内部温度フィードバック | 機器伝熱媒体出口温度、媒体入口温度、冷凍システム凝縮温度、周囲温度、コンプレッサー吸込温度、冷却水温度(水冷機器に使用可能) |
閉鎖循環システム | システム全体は完全に密閉されたシステムであり、低温は空気中の水分を吸収せず、熱媒体を揮発させず、低温は自動的に熱媒体を循環システムに補足する。 |
コンプレッサー | エマソン・コープランド/ダンフォス・スクロールフレキシブルコンプレッサー |
循環ポンプ | ドイツブランドの磁気循環ポンプ |
蒸発器 | プレート式熱交換器 |
コンデンサー | マイクロチャンネルコンデンサー(空冷式) |
プレート式熱交換器(水冷式)、特に注意:きれいな工場用水が必要 |
冷凍アクセサリー | ダンフォス/エマソンの付属品(フィルタードライヤー、オイルセパレーター、高低圧プロテクター、膨張弁) |
操作パネル | 無錫Guanyaカスタマイズされた7インチカラータッチスクリーン、温度曲線表示前EXCELデータエクスポート |
セキュリティ | 自己診断機能付き; 相順序の開相保護装置、冷凍機械の積み過ぎの保護; 高圧圧力スイッチ、積み過ぎのリレー、熱保護装置および他の保証機能。 |
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