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FLTZ Frequency Conversion Chiller for Semiconductor

FLTZ 半導体用周波数変換チラー

  • Temperature Control Range: -30°C ~ 40°C (optional: -30°C ~ 90°C)
  • カスタマイズされたPLCコントローラ、電子膨張弁など
  • Precise Temperature Control Of Semiconductor Production Process And Testing Process

注:空冷と水冷の両方が利用可能です。 防爆キャビネットはカスタマイズすることができます。

 

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チラーは主に半導体製造工程及び検査工程の精密温度制御に使用される。製品は流体フッ素化液体温度制御(最低-100℃)、ガス冷熱急速温度変化、急速温度変化コールドプレート、低温ガス冷凍システム(-120℃)、直冷式冷凍装置(-150℃)などがある。同社は、迅速なシステム応答と高い制御精度を達成するために、システム内の様々なアルゴリズム(PID、フィードフォワードPID、モデルフリー自己構築ツリーアルゴリズム)を適用します。

半導体チラー

半導体チラー

排気・吸入空気温度(圧力)、凝縮温度、冷却水温度(圧力)、入口・出口液体(気体)温度(圧力)、消費電力、各コンポーネントの電流、電圧、水タンクの液面レベルなど、チラーの重要な情報はすべてセンサーで接続され、制御システムは総合的な管理と監視記録を行う。

  1. 40℃以内の加熱方法は、コンプレッサーの熱風で加熱する。
  2. 循環システムは完全閉鎖設計を採用し、循環ポンプは磁気駆動ポンプを採用している。
  3. 100%ヘリウム検出、100%安全検査で安全確保
    そしてシステムの信頼性。
  4. 100% 24時間後のコピー機の連続運転。
  5. コンデンサー マイクロチャネル式熱交換器(空冷)、プレート式熱交換器(水冷)
  6. 蒸発器:プレート式熱交換器
  7. スロットル装置:電子膨張弁
  8. 制御システムPLC のプログラム可能なコントローラー
  9. 通信RS485 インターフェイス Modbus RTU の議定書、イーサネット インターフェイス TCP/IP の議定書
  10. 操作インターフェイス:無錫 Guanya カスタマイズされた 7 インチ色のタッチ画面、温度のカーブの displayEXCEL のデータ輸出
  11. 循環システム:システム全体は完全に閉鎖されたシステムであり、低温は空気中の水分を吸収せず、熱伝達媒体を揮発させず、低温は自動的に熱伝達媒体を循環システムに補充する。
  12. シェル材質:冷間圧延板スプレーRAL7035
  13. パイプラインの内部には、ステンレス鋼SUS304、銅、セラミック、炭化ケイ素、シリコーンシーラント、PTFEが含まれています。

半導体チラー半導体チラー

半導体チラー半導体チラー

 

お客様のプロセスニーズに合わせたソリューション

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モデルFLTZ-305WFLTZ-305W/2T          Dual system
温度範囲-30℃~40℃-30℃~40℃-30℃~40℃
温度精度±0.1℃±0.1℃±0.1℃
フロー制御15~45L/min ±0.315~45L/min ±0.315~45L/min ±0.3
Pump pressure6bar max6bar max6bar max
暖房2.5kw2.5kw2.5kw
Cooling capacity @15℃11kw11kw11kw
Cooling capacity @-15℃5kw   about4500rpm5kw   about4500rpm5kw   about4500rpm
内部循環液量8L8L8L
膨張タンク容量15L25L
Heat transfer mediumFluorinated fluid, antifreeze fluid, heat conduction silicone oil, etc.
熱媒体界面ZG3/4ZG3/4ZG3/4
冷却水インターフェースZG3/4ZG3/4
Cooling water flow30L/min @20℃60L/min @20℃
パワー220V 50/60HZ220V 50/60HZ
ブレーカー40A80A
サイズ(mm)450*700*1600650*850*1600
3.5kw electric heating is optional, the temperature can be extended to 90°C, and the power supply needs to be changed to 380V

 

 

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モデルFLTZ-305WFLTZ-305W/2T          Dual system
温度範囲-30℃~40℃-30℃~40℃-30℃~40℃
温度精度±0.1℃±0.1℃±0.1℃
フロー制御15~45L/min ±0.315~45L/min ±0.315~45L/min ±0.3
Pump pressure6bar max6bar max6bar max
暖房2.5kw2.5kw2.5kw
Cooling capacity @15℃11kw11kw11kw
Cooling capacity @-15℃5kw   about4500rpm5kw   about4500rpm5kw   about4500rpm
内部循環液量8L8L8L
膨張タンク容量15L25L
Heat transfer mediumFluorinated fluid, antifreeze fluid, heat conduction silicone oil, etc.
熱媒体界面ZG3/4ZG3/4ZG3/4
冷却水インターフェースZG3/4ZG3/4
Cooling water flow30L/min @20℃60L/min @20℃
パワー220V 50/60HZ220V 50/60HZ
ブレーカー40A80A
サイズ(mm)450*700*1600650*850*1600
3.5kw electric heating is optional, the temperature can be extended to 90°C, and the power supply needs to be changed to 380V

 

カスタム・オプション

  • カスタムチラーサイズ

ポータブル、コンパクト、大型、小型の冷凍機など、お客様のご要望に応じてカスタム設計いたします。

何トンのチラーが必要であっても、私たちは最適なソリューションをご提案します。

  • カスタム温度範囲

私たちは-150℃から+350℃までの温度に対応するカスタムソリューションを作ることができます。

特定の産業向けのカスタム温度範囲。

  • カスタム冷却能力

私たちは、様々な産業向けに非常に幅広い冷却能力を提供しています。

  • カスタム冷凍機タイプ

空冷式、水冷式、蒸発凝縮式など、さまざまな冷凍タイプのチラーを提供しています。

冷凍コンプレッサーの種類にかかわらず、お客様のご要望に応じて設計いたします。

  • カスタムチラーアクセサリー

コンプレッサー、エバポレーター、熱交換器、循環ポンプ、コントローラー、膨張弁、シェル素材など、国際的に有名な様々なアクセサリーを使用し、すべてお客様のニーズに合わせてカスタマイズすることができます。

  • カスタム冷凍機電圧

ニーズに合わせてチラーの電圧と位相をカスタマイズできます。

任意 110V/60HZ、220V/60HZ、380V/50HZ、220V/50HZ、400V/50HZ、460V/60HZ、440V~480V/60HZ、等。

  • その他のカスタマイズ・ソリューション

 

お客様のニーズをお聞かせください       

 

当社の強み

我々は提供する:

信頼できる経験

当社は20年以上にわたり、カスタム製品の設計・製造を行ってきました。医療用冷凍機からエネルギー貯蔵用冷凍機まで、あらゆる業界、あらゆる用途の製品を製造してきました。

当日見積もり

今すぐお見積もりを最短30分でお見積もりいたします。

年中無休のカスタマーサービス

私たちはいつでもお客様のためにここにいます。ご質問でもお見積もりでも、24時間365日、常に誰かがお客様とコミュニケーションをとっています。

耐久性と信頼性の高い機器

当社の製品はプレミアムグレードの材料で作られており、すべてのカスタム製品に競争力のある保証を提供しています。

 

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