자세한 설명

반도체 제조 공정에서 반응 챔버의 온도, 방열판의 온도, 열전달 매체의 불연성 유체의 온도 제어를 제어하기 위해 널리 사용됩니다.

1. The pressure holding test of the medium circulation system is 7 bar.

2. Use high-quality magnetic pump without mechanical shaft seal.

3. Optimize temperature sampling and response speed, specially designed control algorithm, can respond quickly to stable temperature control.

4. Enhance the design of circulating pump capacity to meet the high-lift requirements of the system.

5. Continuous high temperature cooling technology meets the requirements of stable operation when heat is loaded on the heat sink plate and requires constant temperature control of cooling and heating.

6. In view of the volatile characteristics of fluorinated liquid, the joint design and system sealing design are strengthened to ensure the service life of the medium.

제품 매개변수(모든 제품을 사용자 지정할 수 있습니다.)

모델	LTS-203
	LTS-203W
온도 범위	-20℃～35℃
온도 제어 정확도	±0.1℃ at -20℃～0℃
흐름 제어	7～25L/min
	The flow control adopts frequency converter adjustment, and the speed is automatically adjusted according to the feedback signal of the flow sensor. The maximum pressure of the circulating pump is 5bar.
Internal circulating fluid volume	5L
확장 탱크 용량	10L
시스템 압력 표시	The pressure of the refrigeration system is realized by a pointer pressure gauge (high pressure, low pressure)
	The pressure acquisition outlet position of the circulatory system is detected by a pressure sensor and displayed on the touch screen
컨트롤러	지멘스 PLC, 캐스케이드 제어 알고리즘을 사용한 퍼지 PID 제어 알고리즘.
Temperature control	Heat transfer medium outlet temperature control mode
	External temperature sensor: (PT100 or 4～20mA or communication setting) control mode (cascade control)
Letter of agreement	Ethernet interface TCP/IP protocol
	RS485 interface modbus RTU protocol
Internal temperature feedback of equipment	Equipment heat transfer medium outlet temperature, medium inlet temperature, refrigeration system condensation temperature, ambient temperature, compressor suction temperature, cooling water temperature (available for water-cooled equipment)
폐쇄형 순환 시스템	The whole system is a fully enclosed system, low temperature does not absorb moisture in the air, does not volatilize the heat transfer medium, and the low temperature automatically supplements the heat transfer medium into the circulation system
압축기	Emerson Copeland/Danfoss Scroll Flexible Compressor
순환 펌프	German brand magnetic circulation pump
증발기	Adopt Danfoss/Gaoli plate heat exchanger
콘덴서	Micro channel condenser (air-cooled)
	Plate heat exchanger (water-cooled), special attention: clean factory water is required
냉장 액세서리	Danfoss/Emerson accessories (filter drier, oil separator, high and low pressure protector, expansion valve)
조작 패널	Wuxi Guanya customized 7-inch color touch screen, temperature curve display\EXCEL data export
보안	With self-diagnosis function; phase sequence open-phase protector, refrigerating machine overload protection; high-pressure pressure switch, overload relay, thermal protection device and other security functions.
인/아웃 인터페이스 크기	G1/2

회사 소개

기밀 정보

카테고리: LTS 시리즈, 열 테스트 및 프로세스 냉각

세부 매개 변수

최대 작업 온도.	80℃
최소 작업 온도.	-20℃
온도 제어 모드	열 오일 온도. Control
Temp. 정확도	±0.1℃

LNEYA 다양한 전시회 매년 국내외에서 개최되고 있습니다. 이번 전시회에서는 다음과 같은 최신 연구 장비를 선보입니다. LNEYA. 매년 장기 협력 고객들이 전시회에 와서 저희와 소통하고 있습니다. 또한 신규 고객을 적극적으로 개발하여 다음과 같은 서비스를 제공하고 있습니다. 고품질 기계 및 서비스.

판매 후 서비스

품질 보증

상품이 계약의 규정에 부합하도록 판매되고 공장 검사, 품질 성능, 기술 지표 및 구성이 계약에 규정된 제조 및 기술 문서에 따라 적격 신제품임을 보증합니다.

설치 및 디버깅

상품이 도착한 후 당사 또는 당사 대리인은 다음에 대한 책임이 있습니다. 설치 그리고 디버깅 현장 설치 및 디버깅이 필요한 장비의 비율입니다.

검사 및 승인

설치 및 디버깅 후 고객이 계약 조항 및 적격 신제품, 품질 성능, 기술 지표 및 구성이 계약에 명시된 제조업체 및 기술 문서에 따라 상품이 계약 조항에 부합하는지 확인하고 전체 기술 문서 세트를 확인한 후 설치 수락 보고서에 서명하고 수락을 확인합니다.

교육

장비 설치 및 디버깅과 동시에 당사 애프터 서비스 엔지니어는 사용자가 작동에 숙련 될 때까지 사용자를위한 기술 교육을 담당합니다. 고객이 장비를 사용하는 과정에서 고객은 언제든지 당사 애프터 서비스 담당자에게 관련 기술 문제를 상담 할 수 있으며 상황에 따라 당사에서 현장 또는 원격으로 교육을 준비합니다.