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Temperature Control System for Plasma Etching

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Temperature Control System for Plasma Etching

 

In semiconductor production, plasma etching is the core part of the process chain, including dry etching and wet etching. In dry etching, semiconductor plates (wafers) are plasma treated in a vacuum etching chamber. Ions in the plasma bombard the wafer, causing the material to break away. For example, the oxide layer on a silicon wafer can be removed in this way and then coated with a doped layer (which has foreign atoms added and therefore has some conductivity).

The temperature of the plasma affects the speed and efficiency of etching. If the temperature is too low, the plasma is not active enough to ablate material effectively. If the temperature is too high, the material may be over-ablated, causing errors and damage. Therefore, in semiconductor production, the most precise control of the plasma temperature is very important because the wafers are processed in the range between micrometers and nanometers. Even small changes in temperature can cause significant changes in the size and shape of etched structures. Wuxi Guanya can provide specialized temperature control solutions for the sensitive process of dry etching.

 


 

We provide complete temperature control systems design and manufacturing. From standard models to complete customized products. We specialize in customer service and are dedicated to helping each customer have the optimal temperature control system for their specific need.

Fornecemos soluções personalizadas não padronizadas. Estão disponíveis chillers de refrigeração simples e unidades combinadas de refrigeração e aquecimento.

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Correio eletrónico: lilia@lneya.com    ID WeChat: +8615251628237    WhatsApp: +86 17851209193

 

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refrigerador de semicondutores

Série TES (Desenhos personalizados)

Adequado para o controlo preciso da temperatura de componentes electrónicos. No fabrico de componentes electrónicos de semicondutores para ambientes agressivos, as fases de montagem de embalagens IC e de ensaios de engenharia e produção incluem ensaios térmicos electrónicos e outras simulações de ensaios ambientais.

 

Gama de temperaturas Série -45°C ~ +250°C Série -85°C ~ +200°C Série -60°C ~ +200°C
Capacidade de arrefecimento0,3 ~ 25kW0,25 ~ 25kW3 ~ 60kW
Nota: Qualquer faixa de temperatura de -150 ℃ ~ +350 ℃ e qualquer capacidade de resfriamento pode ser personalizada

 


 

 

Série LTS (Líquido Fluoretado) (Desenhos personalizados)

Amplamente utilizado no processo de fabrico de semicondutores para controlar a temperatura da câmara de reação, a temperatura do dissipador de calor e o controlo da temperatura do fluido não inflamável do meio de transferência de calor.

 

Gama de temperaturas Série -20°C ~ +80°C Série -45°C ~ +80°C Série -60°C ~ +80°C Série -80°C ~ +80°C
Controlo do fluxo7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min
Nota: Qualquer faixa de temperatura de -150 ℃ ~ +350 ℃ e qualquer capacidade de resfriamento pode ser personalizada

 


 

REFRIGERADOR DE SEMICONDUTORES

 

Série FLT (Desenhos personalizados)

O refrigerador do sistema de controlo da temperatura de semicondutores é utilizado principalmente para o controlo preciso da temperatura no processo de produção de semicondutores e no processo de ensaio. Foi especialmente desenvolvido e concebido para a indústria de semicondutores.

 

 

Gama de temperaturas +5°C ~ +40°C -25°C ~ +40°C -45°C ~ +40°C -80°C ~ +80°C -100°C ~ +80°C
Capacidade de arrefecimento6 ~ 40kW2 ~ 15kW1 ~ 8kW0,6 ~ 3kW1,5 ~ 3kW
Nota: Qualquer faixa de temperatura de -150 ℃ ~ +350 ℃ e qualquer capacidade de resfriamento pode ser personalizada

 

 


 

refrigerador de semicondutores

 

FLT Multi Channel Temp Contol (Desenhos personalizados)

Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems. According to the required temperature range, steam compression refrigeration or ETCU non compressor heat exchange system can be selected. The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.

 

Gama de temperaturas -20°C ~ +90°C-45°C ~ +80°C-10°C ~ +80°C-20°C ~ +100°C
Capacidade de arrefecimento4kW5 ~ 13kW3 ~ 6kW8 ~ 15kW
Nota: Qualquer faixa de temperatura de -150 ℃ ~ +350 ℃ e qualquer capacidade de resfriamento pode ser personalizada

 


 

refrigerador para semicondutores

 

Conversão de frequência da série FLTZ (Desenhos personalizados)

O sistema de controlo de temperatura da série de conversão de frequência dupla, a bomba de circulação e o compressor são todos ajustados por conversão de frequência.

 

 

Gama de temperaturas -30°C ~ +40°C
Capacidade de arrefecimento5 ~ 11kW
Nota: Qualquer faixa de temperatura de -150 ℃ ~ +350 ℃ e qualquer capacidade de resfriamento pode ser personalizada

 


 

refrigerador de semicondutores

Série ETCU (Desenhos personalizados)

Tipo de permuta de calor

Sistema sem compressor

 

 

 

Gama de temperaturas +5°C ~ +90°C
Capacidade de arrefecimento5 ~ 30kW
Nota: Qualquer faixa de temperatura de -150 ℃ ~ +350 ℃ e qualquer capacidade de resfriamento pode ser personalizada

 


 

unidade de distribuição do líquido de refrigeração

 

Série ZLFQ (Desenhos personalizados)

Unidade de distribuição do líquido de refrigeração

O equipamento de arrefecimento líquido é adequado para testes de semicondutores, testes de temperatura constante de equipamento eletrónico, infra-estruturas de apoio a servidores de arrefecimento e outros locais de controlo de temperatura de fluidos.

 

 

 

Gama de temperaturas +5°C ~ +35°C +5°C ~ +35°C
Capacidade de arrefecimento15 ~ 150kW200 ~ 500kW
Nota: Qualquer faixa de temperatura de -150 ℃ ~ +350 ℃ e qualquer capacidade de resfriamento pode ser personalizada

 


 

placas térmicas

 

 

Série de mandris térmicos MD (Desenhos personalizados)

É utilizado para testar dispositivos RF e dispositivos de potência de alta densidade (IGBTs e MOSFETs), podendo também ser utilizado para o arrefecimento rápido de painéis planos de laboratório (plasma, produtos biológicos, baterias), etc.

 

 

 

Gama de temperaturas -75°C ~ +225°C
Precisão da temperatura±0.1℃
Nota: Qualquer faixa de temperatura de -150 ℃ ~ +350 ℃ e qualquer capacidade de resfriamento pode ser personalizada

 

 

Sistemas de controlo da temperatura do gás                                                               

 

 

Máquina de ensaio de impacto a jato da série AES

(Desenhos personalizados)

Gama de controlo de temperatura: -120°C ~ +225°C

 

 


 

Sistema de controlo da temperatura do ar de recirculação da série AI

(Desenhos personalizados)

Gama de controlo de temperatura: -105°C ~ +125°C

 

 

 


 

 

Sistema de refrigeração a gás da série LQ

(Desenhos personalizados)

Gama de controlo de temperatura: -110°C ~ -40°C

 

 

 

 


 

Dispositivo de recuperação de condensação de gases residuais de COVs da série YQHrefrigerador a gás

(Desenhos personalizados)

Aplicado à recuperação de liquefação por condensação de gases. Os gases de escape ou outros gases electrónicos são ligados ao equipamento através do ventilador de tiragem induzida (bomba de vácuo), liquefeitos, recolhidos e separados no tanque de recolha através da redução da temperatura, e outros gases são descarregados, de modo a realizar a condensação, captura e recuperação do gás.

 


 

refrigeradores de água

Série ZLJ / SLJ (Desenhos personalizados)

É adequado para locais onde a área de troca de calor do permutador de calor é pequena, mas a capacidade de troca de calor é grande. Também pode ser utilizado para a captura de gás, o refrigerante é diretamente passado para a armadilha para evaporar, e o gás no espaço é rapidamente capturado através do efeito de condensação na superfície da armadilha.

 

 

Gama de temperaturas -40°C ~ -15°C -80°C ~ -50°C -150°C ~ -110°C
Capacidade de arrefecimento0,5 ~ 4kW0,37 ~ 3,1kW2,5 ~ 9kW
Série ZLJSérie SLJ
Nota: Qualquer faixa de temperatura de -150 ℃ ~ +350 ℃ e qualquer capacidade de resfriamento pode ser personalizada

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