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Wafer Temperature Control System During Etching Process

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Wafer Temperature Control System During Etching Process

 

1) Advanced temperature control and optimization: Modern etching technology has increasingly higher requirements for temperature control, especially in nanoscale processes. Wafer temperature measurement technology can not only monitor temperature changes on the wafer surface in real time, but also compare these data with a preset temperature range to achieve more precise temperature control. This precise control minimizes the impact of temperature fluctuations on the etching process and improves the consistency and repeatability of etching results.

2) Thermal compensation during high-temperature etching: Some etching processes need to be performed at high temperatures to achieve specific material removal or structure formation. In this case, wafer temperature measurement becomes particularly important because temperature changes in the wafer at high temperatures may affect etch rates, etch profiles, and other critical parameters. By monitoring the wafer surface temperature in real time, the etching machine can dynamically adjust the heating and cooling system to ensure the stability and consistency of the high-temperature etching process.

3) Optimization of multi-layer film etching process: In integrated circuit manufacturing, the multi-layer film etching process requires more precise temperature control. Wafer temperature measurement technology can monitor temperature changes at different stages of the etching process and adjust etching parameters based on these changes. This helps avoid uneven etching or structural distortion caused by temperature differences between different materials.

4) Improved safety and reliability: Wafer temperature measurement can not only be used to optimize the etching process, but also help prevent overheating, thereby ensuring the integrity of the etching machine and products during the production process.

5) Intelligent etching process optimization: Combining machine learning and artificial intelligence technology, wafer temperature measurement data can be used to develop intelligent etching process optimization algorithms. Based on historical temperature data and etching results, the system can automatically adjust etching parameters to achieve higher efficiency and better product quality.

 


 

We provide complete temperature control systems design and manufacturing. From standard models to complete customized products. We specialize in customer service and are dedicated to helping each customer have the optimal temperature control system for their specific need.

Nous fournissons des solutions personnalisées non standard. Nous proposons aussi bien des refroidisseurs à simple refroidissement que des unités combinées de refroidissement et de chauffage.

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Courriel : lilia@lneya.com    ID WeChat : +8615251628237    WhatsApp : +86 17851209193

 

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refroidisseur de semi-conducteurs

Série TES (Modèles sur mesure)

Convient pour le contrôle précis de la température des composants électroniques. Lors de la fabrication de composants électroniques semi-conducteurs destinés à des environnements difficiles, les phases d'assemblage, d'ingénierie et d'essais de production de l'emballage des circuits intégrés comprennent des essais thermiques électroniques et d'autres simulations d'essais environnementaux.

 

Plage de température Série -45°C ~ +250°C Série -85°C ~ +200°C Série -60°C ~ +200°C
Capacité de refroidissement0,3 ~ 25kW0,25 ~ 25kW3 ~ 60kW
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

 


 

 

Série LTS (liquide fluoré) (Modèles sur mesure)

Largement utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs pour contrôler la température de la chambre de réaction, la température du dissipateur thermique et le contrôle de la température du fluide ininflammable de l'agent de transfert de chaleur.

 

Plage de température Série -20°C ~ +80°C Série -45°C ~ +80°C Série -60°C ~ +80°C Série -80°C ~ +80°C
Contrôle du débit7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min7 ~ 45 L/min
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

 


 

REFROIDISSEUR DE SEMI-CONDUCTEURS

 

Série FLT (Modèles sur mesure)

Le refroidisseur du système de contrôle de la température des semi-conducteurs est principalement utilisé pour le contrôle précis de la température dans le processus de production et de test des semi-conducteurs. Il est spécialement développé et conçu pour l'industrie des semi-conducteurs.

 

 

Plage de température +5°C ~ +40°C -25°C ~ +40°C -45°C ~ +40°C -80°C ~ +80°C -100°C ~ +80°C
Capacité de refroidissement6 ~ 40kW2 ~ 15kW1 ~ 8kW0,6 ~ 3kW1,5 ~ 3kW
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

 

 


 

refroidisseur de semi-conducteurs

 

FLT Multi Channel Temp Contol (Modèles sur mesure)

Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems. According to the required temperature range, steam compression refrigeration or ETCU non compressor heat exchange system can be selected. The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.

 

Plage de température -20°C ~ +90°C-45°C ~ +80°C-10°C ~ +80°C-20°C ~ +100°C
Capacité de refroidissement4kW5 ~ 13kW3 ~ 6kW8 ~ 15kW
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

 


 

refroidisseur pour semi-conducteur

 

Série FLTZ Conversion de fréquence (Modèles sur mesure)

Système de régulation de la température, pompe de circulation et compresseur réglés par conversion de fréquence.

 

 

Plage de température -30°C ~ +40°C
Capacité de refroidissement5 ~ 11kW
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

 


 

refroidisseur de semi-conducteurs

Série ETCU (Modèles sur mesure)

Type d'échange thermique

Système sans compresseur

 

 

 

Plage de température +5°C ~ +90°C
Capacité de refroidissement5 ~ 30kW
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

 

 


 

plaques thermiques

 

 

Série de mandrins thermiques MD (Modèles sur mesure)

Il est utilisé pour tester les dispositifs RF et les dispositifs de puissance à haute densité (IGBT et MOSFET), et peut également être utilisé pour le refroidissement rapide des panneaux plats de laboratoire (plasma, produits biologiques, batteries), etc.

 

 

 

Plage de température -75°C ~ +225°C
Précision de la température±0.1℃
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

 


 

 

Machine d'essai d'impact à jet de la série AES

(Modèles sur mesure)

Plage de contrôle de la température : -120°C ~ +225°C

 

 


 

Système de régulation de la température de l'air recyclé de la série AI

(Modèles sur mesure)

Plage de contrôle de la température : -105°C ~ +125°C

 

 

 


 

 

Système de réfrigération à gaz de la série LQ

(Modèles sur mesure)

Plage de contrôle de la température : -110°C ~ -40°C

 

 

 

 


 

Dispositif de récupération par condensation des gaz résiduaires COV de la série YQHrefroidisseur à gaz

(Modèles sur mesure)

Appliqué à la récupération par condensation et liquéfaction des gaz. Les gaz d'échappement ou d'autres gaz électroniques sont connectés à l'équipement par l'intermédiaire du ventilateur à tirage induit (pompe à vide), liquéfiés, collectés et séparés dans le réservoir de collecte en abaissant la température, et les autres gaz sont évacués, de manière à réaliser la condensation, la capture et la récupération du gaz.

 


 

refroidisseurs d'eau

Série ZLJ / SLJ (Modèles sur mesure)

Il convient aux endroits où la zone d'échange de chaleur de l'échangeur de chaleur est petite mais où la capacité d'échange de chaleur est grande. Il peut également être utilisé pour la capture de gaz, le réfrigérant passe directement dans le piège pour s'évaporer, et le gaz dans l'espace est rapidement capturé par l'effet de condensation sur la surface du piège.

 

 

Plage de température -40°C ~ -15°C -80°C ~ -50°C -150°C ~ -110°C
Capacité de refroidissement0,5 ~ 4kW0,37 ~ 3,1 kW2,5 ~ 9kW
Série ZLJSérie SLJ
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées.

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